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探针卡组成说明

探针卡

探针卡被描述为测试仪的“手”。如果我们这样看待探针卡,那么探针就起到了它的“手指”的作用。如图1-4所示,探针是探针卡中实际与集成电路接触的部分。

探针

1、直探针


图1-1:直探头/探头(未按比例)

通常,如果探针是从供应商处购买的,它们的到达方式如图1-1所示。它们是直的、薄的、针状的金属片,一端逐渐变细成尖锐的尖端。探针通常由钨(W)和铼钨(ReW)制成,不过也使用铍铜(BeCu)和钯(Pd)等材料。直探针由四个基本参数定义:材料、探头长度(L)、探头直径(D)和锥度长度(T)。常见材料和尺寸如下表1-1所示。


表1-1:直探针参数

2、弯曲探针

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